本网讯  (智能制造学院通讯员 杨兵) 日前，第十届中国原子层沉积会议(CALD2023)在嘉善县成功举办。会议由复旦大学、浙江大学主办，嘉善复旦研究院协办。参会者来自清华大学，北京大学等国内58家“双一流”高校和科研院所以及35家企业单位。作为参会单位中唯一的高职院校，yl23411永利官网登录智能制造学院教师杨兵受邀参会并且进行学术汇报。

会上，杨兵作了“氧化锌锡晶体管制备及应用于低压调控的逻辑电路”的主题学术汇报。会后，与会嘉宾一行还参观了长三角生态绿色一体化发展示范区(嘉善)企业交流服务基地、祥符荡科创绿谷研发总部与嘉善复旦研究院。

中国原子层沉积大会已举办十届，经过多年的发展，我国在集成电路先进制造的核心关键技术之一原子层沉积技术上取得了很大进步。本次大会由复旦大学丁士进教授和浙江大学赵俊杰教授主持，嘉善县副县长陶红亚，复旦大学微电子学院院长张卫教授分别致欢迎词和开幕词，美国北卡罗莱纳州立大学的Gregory N. Parsons教授和韩国汉阳大学的Jin-Seong Park教授作分别做主旨演讲。大会围绕ALD设备与工艺，微电子材料与器件，光电子材料与器件等六大方面完成了28场学术报告。

本次会议活跃了学术思想，提高了创新意识，以科技服务国家战略需要，实现了原子层沉积学术交流和与解决产业技术问题紧密结合，为区域经济发展提供了创新动力。